超快SEM解決方案

更新時間：2023-09-14

產(chǎn)品型號：Pico SEM C

簡要描述：超快SEM解決方案Euclid Techlabs LLC 提供獨(dú)立開發(fā)的超快脈沖發(fā)生器系統(tǒng)，將傳統(tǒng)的 SEM 轉(zhuǎn)換為時間分辨 SEM。

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Euclid Techlabs LLC 提供獨(dú)立開發(fā)的超快脈沖發(fā)生器系統(tǒng)，將傳統(tǒng)的 SEM 轉(zhuǎn)換為時間分辨 SEM。該脈沖發(fā)生器可適用于 TFS Verios 5 XHR SEM，從而將頻閃時間分辨率引入現(xiàn)有 SEM 系統(tǒng)，而不會降低其原有性能。為了保持原始光束質(zhì)量，并在脈沖發(fā)生器關(guān)閉時對正常操作的影響最?。ɡ硐肭闆r下沒有），我們可能建議將脈沖發(fā)生器插入 FE 槍和聚光透鏡之間。脈沖發(fā)生器與原始 SEM 腔具有相同的真空接口。控制單元通過鎖相延遲線向脈沖發(fā)生器（電和光）提供控制信號，并為樣品提供同步的電或光信號。

特點(diǎn)：

• 百皮秒級射頻電激發(fā)電子束

規(guī)格：

• 能量范圍：2~30 keV

• 電子束頻閃率：15MHz~3GHz（電激發(fā)）

• 電子脈沖長度：100ps~period-100ps（電激發(fā)）。

• 輻射安全

• 與 SEM 腔真空兼容

• 在電激發(fā)下保持 SEM 的原始固有空間分辨率。

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