真空保存裝置是透射電子顯微鏡重要的配套設(shè)備。透射電子顯微鏡可以直接在原子尺度表征材料的結(jié)構(gòu)和成分。樣品在透射電鏡中觀察時，會受到強(qiáng)電子束流密度照射，樣品表面的碳?xì)湮廴疚锛皹悠窏U本身在高電流密度轟擊下分解，從而影響樣品原子尺度的觀察，因此透射電鏡樣品桿在電鏡外未使用狀態(tài)下，應(yīng)保存在透射電鏡樣品桿真空泵站系統(tǒng)中處于真空狀態(tài)，以防止碳?xì)浠衔镂廴?，并加快樣品更換過程。
傳統(tǒng)透射電鏡樣品桿保存泵站，所有樣品桿保存管道統(tǒng)一開啟、關(guān)閉，在存取出單一樣品桿時，其他未取出樣品桿也同時暴露于空氣中，容易造成其他未取出樣品桿上的樣品受到空氣中碳?xì)浠衔锏奈廴尽?/div>
至少兩個樣品桿儲存組件，所述樣品桿儲存組件包括樣品桿存儲管、電磁閥及放氣閥，所述樣品桿存儲管的兩端分別設(shè)有插口及通氣口，所述電磁閥連接所述真空泵及所述樣品桿存儲管的通氣口，所述電磁閥用于控制所述真空泵與所述樣品桿存儲管的通氣口連通或斷開；所述放氣閥連接所述樣品桿存儲管的通氣口，所述放氣閥用控制所述樣品桿存儲管的通氣口與外界空氣連通或斷開。
上述電鏡樣品桿真空保存裝置，每個樣品桿儲存組件的樣品桿存儲管由獨(dú)立的電磁閥及放氣閥控制，從而對某根樣品桿進(jìn)行存取時，只需打開或關(guān)閉該樣品桿存儲管所對應(yīng)的電磁閥及放氣閥即可，不影響其他樣品桿存儲管內(nèi)的樣品桿的真空存儲狀態(tài)，有效避免在存取出單一樣品桿時，其他未取出樣品桿也同時暴露于空氣中，有效防止其他未取出樣品桿上的樣品受到空氣中碳?xì)浠衔锏奈廴?。而且，?dāng)有部分樣品桿存儲管未插樣品桿，關(guān)閉該樣品桿存儲管對應(yīng)的電磁閥，并不會影響到其他插有樣品桿的樣品桿存儲管的封閉性。
